電子潔凈車(chē)間作為現代高科技產(chǎn)業(yè)的核心基礎設施,其裝修工程涉及精密制造、生物醫藥、半導體等對環(huán)境潔凈度要求極高的領(lǐng)域。以下從施工要點(diǎn)方面展開(kāi)分析,為相關(guān)企業(yè)提供系統性參考。
1、密封性處理
所有接縫需采用中性硅膠密封(寬度≥6mm),風(fēng)管安裝采用液槽密封法蘭,泄漏率<0.01%。某液晶面板廠(chǎng)實(shí)測數據顯示,采用激光焊接工藝的管道系統比傳統法蘭連接氣密性提升40%。
2、潔凈管道施工
-純水系統:316L不銹鋼管道,內表面Ra≤0.5μm,坡度設計≥0.5%
-工藝排氣:PPH管道熱熔焊接,需進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏(泄漏率<1×10??Pa·m³/s)
3、檢測與調試
竣工后需進(jìn)行三項關(guān)鍵測試:
-粒子計數(按ISO14644-1標準)
-氣流可視化(發(fā)煙測試)
-自?xún)魰r(shí)間測試(從ISO8級恢復到ISO5級應≤15分鐘)