蚌埠無(wú)塵車(chē)間
2000平蚌埠千級半導體無(wú)塵車(chē)間裝修方案分享
來(lái)源：m.tanxudong.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2025-06-17 11:44:07點(diǎn)擊:次
本方案嚴格遵循ISO6級（千級）潔凈標準，采用模塊化潔凈室結構，以灰白色調為主，搭配防靜電高架地板與金屬壁板，打造高精度半導體生產(chǎn)環(huán)境。
圍護系統：采用50mm厚金屬夾芯彩鋼板墻體，表面覆有抗靜電涂層，接縫處采用圓弧過(guò)渡設計，避免積塵。天花板采用FFU（風(fēng)機過(guò)濾單元）滿(mǎn)布布局，配合高效HEPA過(guò)濾器，確保垂直層流氣流組織，潔凈度穩定控制在≤1,000顆粒/立方米（≥0.5μm）。
地面系統：鋪設3mm厚防靜電環(huán)氧樹(shù)脂自流平地坪，電阻值控制在10^6~10^9Ω，耐磨抗化學(xué)腐蝕，滿(mǎn)足設備移動(dòng)與靜電防護需求。
智能化控制：集成環(huán)境監測系統，實(shí)時(shí)顯示溫濕度、壓差及粒子濃度數據，聯(lián)動(dòng)空調機組自動(dòng)調節，確保工藝環(huán)境穩定。設備區采用不銹鋼圍擋，并設置黃光防眩照明，減少光學(xué)干擾。整體設計兼顧潔凈效能、耐久性與智能化管理，滿(mǎn)足半導體制造的高標準要求。
