半導體制造車(chē)間的空氣處理與氣流組織是確保車(chē)間環(huán)境潔凈和安全的核心環(huán)節。合理的空氣處理系統能夠有效控制顆粒物污染，保障芯片的質(zhì)量。

1. 空氣過(guò)濾系統

半導體制造車(chē)間需配置高效過(guò)濾器（HEPA）或超高效過(guò)濾器（ULPA），確?？諝庵械念w粒物被徹底過(guò)濾。HEPA過(guò)濾器對0.3微米顆粒的過(guò)濾效率達到99.97%，而ULPA過(guò)濾器的過(guò)濾效率更高?？諝膺^(guò)濾系統通常包括初效、中效和高效三級過(guò)濾，確?？諝鉂崈舳?。

2. 氣流組織設計

半導體制造車(chē)間的氣流組織需根據生產(chǎn)流程和潔凈等級設計。通常采用上送下回的氣流方式，確?？諝鈴臐崈魠^流向污染區，避免交叉污染。對于高潔凈等級區域（如ISO 4級），需采用單向流設計，確?？諝饬鲃?dòng)方向固定。

3. 壓差控制

半導體制造車(chē)間的不同區域需保持一定的壓差，確?？諝鈴臐崈魠^流向污染區。通常，潔凈區與非潔凈區之間的壓差需≥10Pa，不同潔凈等級區域之間的壓差梯度需≥5Pa。壓差傳感器需實(shí)時(shí)監控，確保壓差穩定。

4. 新風(fēng)與排風(fēng)系統

半導體制造車(chē)間需配置獨立的新風(fēng)和排風(fēng)系統，確?？諝饬魍?。新風(fēng)系統需經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾，確保進(jìn)入車(chē)間的空氣潔凈。排風(fēng)系統需配置高效過(guò)濾器和止回閥，防止外部污染空氣進(jìn)入。

5. 溫濕度控制

半導體制造車(chē)間的溫濕度需根據生產(chǎn)要求精確控制。通常，溫度控制在22±1℃，濕度控制在45±5%。精密空調系統能夠實(shí)時(shí)監測和調節溫濕度，確保環(huán)境穩定。

通過(guò)合理的空氣處理與氣流組織設計，半導體制造車(chē)間能夠有效控制顆粒物污染，保障生產(chǎn)環(huán)境的安全性和潔凈度。