本車(chē)間以"未來(lái)科技"為設計導向,嚴格遵循ISO14644-1Class5標準,打造高精度半導體制造環(huán)境??臻g采用淺灰金屬壁板與深灰防靜電格柵地板的冷色調組合,營(yíng)造極具科技感的工業(yè)美學(xué)。
核心設計亮點(diǎn):
圍護系統:淺灰陽(yáng)極氧化鋁金屬壁板,表面經(jīng)納米涂層處理,反射率精準控制在40%-50%,避免光干擾;
地面系統:深灰鋁合金防靜電格柵地板,開(kāi)放率≥60%,電阻值10^4~10^6Ω,下方設置2米深架空層,集成管線(xiàn)與FFU回風(fēng)系統;
空氣凈化:天花滿(mǎn)布FFU+ULPA超高效過(guò)濾器,換氣次數≥60次/h,維持0.45m/s垂直層流;
微環(huán)境控制:核心光刻區溫控精度±0.1℃,振動(dòng)控制在VC-D級標準;
智能交互:AR虛擬巡檢系統與墻裝透明OLED數據看板,實(shí)時(shí)顯示18項工藝參數。
通過(guò)模塊化金屬結構與智能化環(huán)境監控的完美融合,為半導體制造提供超越摩爾定律要求的尖端生產(chǎn)環(huán)境。