以芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區)除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。
根據現行規范,電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
1.電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
2.電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
3.電子制造行業(yè)萬(wàn)級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值。
4.補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5.保證供給潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40㎡。