電子無(wú)塵車(chē)間工程的設計，以芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵車(chē)間和磁盤(pán)制造車(chē)間為代表的電子工業(yè)工程無(wú)塵室（區）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

       潔凈室（區）的溫、濕度應根據生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無(wú)具體要求時(shí)，其溫度可按20~26℃，相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073，這類(lèi)潔凈室（區）的潔凈度等級1-9級，其中1-5級，氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速0.2-0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數50-60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數15-25次/h；8-9級氣流流型為非單向流，換氣次數10-15次/h。無(wú)塵車(chē)間工程

    根據現行規范，電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級潔凈室內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

      1.電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

      2.電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

      3.電子制造行業(yè)萬(wàn)級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值。

      4.補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。 

       5.保證供給潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40㎡。