廬江半導體無(wú)塵車(chē)間凈化工程空調施工要點(diǎn)主要包括以下幾方面：

1. 空調系統設計：

   - 空調系統需根據半導體生產(chǎn)工藝要求和車(chē)間潔凈度等級（如ISO Class 1-9級）設計，確保送風(fēng)量充足，滿(mǎn)足相應的換氣次數。

   - 設計時(shí)要考慮溫度、濕度的精確控制，以適應半導體生產(chǎn)對環(huán)境條件的高精度需求。

2. 高效過(guò)濾裝置安裝：

   - 高效過(guò)濾器（HEPA/ULPA）的選擇和安裝至關(guān)重要，要確保過(guò)濾效率符合要求，并且在安裝過(guò)程中不能損壞過(guò)濾介質(zhì)。

   - 過(guò)濾器安裝位置通常位于回風(fēng)口或者送風(fēng)口，確保整個(gè)空調循環(huán)系統的空氣質(zhì)量達標。

3. 氣流組織設計：

   - 氣流組織應設計成單向流動(dòng)或非單向流動(dòng)但有足夠渦流控制，避免塵埃粒子在車(chē)間內回流和滯留。

   - 要求氣流均勻穩定，避免出現死角和渦流，確保車(chē)間內各點(diǎn)的潔凈度一致。

4. 空調機組及管道施工：

   - 空調機組安裝牢固，減震良好，同時(shí)管道連接緊密，杜絕漏風(fēng)現象，所有的接縫和焊點(diǎn)都要做嚴密性和氣密性測試。

   - 使用抗菌、防霉、耐腐蝕材料制作并安裝風(fēng)管，防止二次污染。

5. 控制系統集成：

   - 空調系統的自動(dòng)控制系統應能實(shí)現對溫濕度、壓力、風(fēng)速等多種參數的精確監控與調節，確保工藝環(huán)境的穩定性。

6. 竣工驗收與調試：

   - 工程結束后，需要按照相關(guān)規定進(jìn)行潔凈度檢測和空調性能測試，確保所有參數均達到設計標準和使用要求。同時(shí)，還要進(jìn)行詳細的系統調試和試運行，確保整個(gè)空調凈化系統穩定可靠。

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