合肥工廠(chǎng)廠(chǎng)房?jì)艋?chē)間工程的幾種常見(jiàn)類(lèi)型,下面由安徽空氣好凈化工程為大家詳細說(shuō)明:
一、層流式
此種方式是根據空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈車(chē)間等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈車(chē)間等級為Class1~100。
其型式可分為二種:
1、垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易,運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn):構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。
2、水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單,運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。缺點(diǎn):建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
二、亂流式
此種方式是讓空氣通過(guò)空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車(chē)間內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈車(chē)間,并由潔凈車(chē)間兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于潔凈車(chē)間等級1,000-100,000級。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低,潔凈車(chē)間的擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈車(chē)間等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
三、復合式
此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
1、裝局部潔凈車(chē)間:將潔凈車(chē)間等級10,000~100,000之亂流潔凈車(chē)間內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
2、凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
3、凈隧道:以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn):①彈性擴充容易;②維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。